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型号 |
VK-D1 |
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XY 载物台结构 |
电动 运行范围 |
100 mm x 100 mm |
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重量 |
约 18.5 kg |
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型号 |
VK-S1 |
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XY 载物台结构 |
手动 运行范围 |
70 mm x 70 mm |
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重量 |
约 16.0 kg |
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型号 |
VK-X1000 |
||
|
类型 |
控制器 |
||
|
综合倍率 |
28,800 倍以下*1 |
||
|
视野 (最小视野范围) |
11 µm 至 7,398 µm |
||
|
帧率 (激光测量速度) |
4 至 125 Hz、7,900 Hz*2 |
||
|
测量原理 |
光学系统 |
针孔共聚焦光学系统、变焦 |
|
|
光接收元件 |
16 bit 感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS |
||
|
扫描方式 |
自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描) |
||
|
(常规测量时及图像拼接时) |
|||
|
高度测量 |
显示分辨率 |
0.5 nm (VK-X1100)、5 nm (VK-X1050) |
|
|
线性标尺 |
|||
|
动态量程 |
16 bit |
||
|
(来自工件的光接收量的适用幅度) |
|||
|
重复精度σ |
激光共聚焦 |
20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm (VK-X1100) |
|
|
20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1050) |
|||
|
变焦 |
5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1100) |
||
|
5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm (VK-X1050) |
|||
|
高度数据获取范围 |
70 万步骤 |
||
|
准确性 |
0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3 |
||
|
宽度测量 |
显示分辨率 |
1 nm (VK-X1100)、10 nm (VK-X1050) |
|
|
重复精度 3σ |
激光共聚焦 |
20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm (VK-X1100) |
|
|
20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1050) |
|||
|
变焦 |
5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1100) |
||
|
5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm (VK-X1050) |
|||
|
准确性 |
测量值±2 % 以内*3 |
||
|
XY 载物台结构 |
手动 运行范围 |
70 mm x 70 mm |
|
|
电动 运行范围 |
100 mm x 100 mm |
||
|
观察 |
观察图像 |
超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C - 激光微分干涉图像 |
|
|
照明 |
环状照明、同轴落射照明 |
||
|
测量用激光光源 |
波长 |
紫色半导体激光 404 nm (VK-X1100) |
|
|
红色半导体激光 661 nm (VK-X1050) |
|||
|
最大输出 |
1 mW |
||
|
激光产品 |
2 类激光产品 (GB7247.1) |
||
|
电源 |
电源电压 |
100 至 240 VAC、50/60 Hz |
|
|
消耗电流 |
150 VA |
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|
重量 |
约 3.0 kg |
||
|
*1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。 |
|||
|
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 |
|||
|
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。 |
|||
|
型号 |
VK-X1050 |
||
|
类型 |
测量头 |
||
|
综合倍率 |
28,800 倍以下*1 |
||
|
视野 (最小视野范围) |
11 µm 至 7,398 µm |
||
|
帧率 (激光测量速度) |
4 至 125 Hz、7,900 Hz*2 |
||
|
测量原理 |
光学系统 |
针孔共聚焦光学系统、变焦 |
|
|
光接收元件 |
16 bit 感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS |
||
|
扫描方式 |
自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描) |
||
|
(常规测量时及图像拼接时) |
|||
|
高度测量 |
显示分辨率 |
5 nm |
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|
线性标尺 |
|||
|
动态量程 |
16 bit |
||
|
(来自工件的光接收量的适用幅度) |
|||
|
重复精度σ |
激光共聚焦 |
20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm |
|
|
变焦 |
5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm |
||
|
高度数据获取范围 |
70 万步骤 |
||
|
准确性 |
0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3 |
||
|
宽度测量 |
显示分辨率 |
10 nm |
|
|
重复精度 3σ |
激光共聚焦 |
20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm |
|
|
变焦 |
5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm |
||
|
准确性 |
测量值±2 % 以内*3 |
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|
XY 载物台结构 |
手动 运行范围 |
70 mm x 70 mm |
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|
电动 运行范围 |
100 mm x 100 mm |
||
|
观察 |
观察图像 |
超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C - 激光微分干涉图像 |
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|
照明 |
环状照明、同轴落射照明 |
||
|
测量用激光光源 |
波长 |
红色半导体激光 661 nm |
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|
最大输出 |
1 mW |
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激光产品 |
2 类激光产品 (GB7247.1) |
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|
电源 |
电源电压 |
100 至 240 VAC、50/60 Hz |
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|
消耗电流 |
150 VA |
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|
重量 |
约 13.0 kg |
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|
*1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。 |
|||
|
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 |
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|
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。 |
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|
型号 |
VK-X1100 |
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|
类型 |
测量头 |
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|
综合倍率 |
28,800 倍以下*1 |
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|
视野 (最小视野范围) |
11 µm 至 7,398 µm |
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|
帧率 (激光测量速度) |
4 至 125 Hz、7,900 Hz*2 |
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测量原理 |
光学系统 |
针孔共聚焦光学系统、变焦 |
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光接收元件 |
16 bit 感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS |
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扫描方式 |
自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描) |
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|
(常规测量时及图像拼接时) |
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|
高度测量 |
显示分辨率 |
0.5 nm |
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线性标尺 |
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|
动态量程 |
16 bit |
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|
(来自工件的光接收量的适用幅度) |
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|
重复精度σ |
激光共聚焦 |
20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm |
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|
变焦 |
5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm |
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|
高度数据获取范围 |
70 万步骤 |
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|
准确性 |
0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3 |
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|
宽度测量 |
显示分辨率 |
1 nm |
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重复精度 3σ |
激光共聚焦 |
20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm |
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变焦 |
5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm |
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准确性 |
测量值±2 % 以内*3 |
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XY 载物台结构 |
手动 运行范围 |
70 mm x 70 mm |
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电动 运行范围 |
100 mm x 100 mm |
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观察 |
观察图像 |
超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C - 激光微分干涉图像 |
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照明 |
环状照明、同轴落射照明 |
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测量用激光光源 |
波长 |
紫色半导体激光 404 nm |
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最大输出 |
1 mW |
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激光产品 |
2 类激光产品 (GB7247.1) |
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电源 |
电源电压 |
100 至 240 VAC、50/60 Hz |
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消耗电流 |
150 VA |
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重量 |
约 13.0 kg |
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*1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。 |
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*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。 |
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*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。 |
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