LT-9000系列表面扫描激光共焦位移计

型号

LT-9501H

LT-9001H

LT-9501HSO(5654)

LT-9001HSO(5655)

测量模块兼容性

测量模块无须工厂再校对即可互换

显示

最小显示单位

0.1 µm^*1，1 µm²，0.01 °

0.1 µm^*1

显示范围

±9，999.99 µm、±999，999 µm²、9，999.99 °

±9，999.99 µm

显微镜功能

有

―

有

―

显示周期

10 次/sec^*2

终端模块

模拟输出

±10 V x 2 输出，输出电阻: 100 Ω

计时输入

无电压输入

复位输入

自动调零输入

显示器专用电源为

24VDC^*3

控制器I／O

判定模式

3 步进限制输出

适用于 OUT1 (输出 1) , OUT2 (输出 2) 和 NPN 开路集电极输出^*4

二进位模式

二进制输出

测量数据输出 (21 位), 可选择 OUT1/OUT2/PROFILE (输出 1/输出 2/外形)

NPN 开路集电极输出^*4

选通脉冲输出

NPN 开路集电极输出^*4

二进制选择器输出

二进制选择输入

无电压输入^*4

稳定性输出

NPN 集电极开路输出

激光遥控输入

无电压输入

程序切换输入

无电压输入 x 3 输入

RS-232C 接口

测量数据输出和控制输入和输出 (最高可选择 115,200 位/秒 波德率)

视频输出

符合 NTSC 系统 (针式连接头)

主要功能

位移模式

距离测量、通明物厚度测量、角度测量、相关角度测量、表面选择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描宽度/间隔改变^*5

距离测量、通明物厚度测量、表面选

择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描

宽度/间隔改变^*6

形状模式

面积选择 (平均数、最大、最小、最大至最小、

―^*6

面积) 面积计算、扫描宽度/间隔改变、反黑、

平滑、平均计算和形状数据输出^*6

一般功能

光强聚积、显微镜 (LT-9501H, LT-9501HSO (5654))、公差判断、8 程序登录、

校准、平均计算、保持模式、自动归零、和界面语言选择

额定

电源电压

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

额定值

功率消耗

最大 110 VA

环境抗耐性

污染等级

2

过电压类别

II

环境温度

0 至 +35 °C

相对湿度

35 至 85 % RH (无凝结)

重量

约 2.4 kg

^*1 显示每 ±0.3 µm 的变化。

^*2 根据设定而不同。

^*3 监视器专用电源由 KEYENCE 指定。

^*4 限制模式和二进制模式选择其一。

^*5 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。

^*6 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余

电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。

型号

LT-9011M

LT-9011

LT-9031M

LT-9031

类型

高精度型

长范围型

检测范围

±0.3 mm

±1.0 mm

参考距离

6 mm

30 mm

光源

类型

红色半导体激光

波长

655 nm

输出

170 µw (IEC 60825-1) /3.0 µw (FDA (CDRH) Part 1040.10)

激光分类

IIa 类激光产品 (FDA (CDRH) Part 1040.10)

1 类激光产品 (IEC 60825-1)

光点直径

约 ø2 µm

约 ø7 µm

扫描宽度/间隔

0 至 1,100 µm (6 步进) /1 至 10 µm (4 步进)

0 至 560 µm (6 步进) /1 至 8 µm (4 步进)

分辨率

0.3 µm^*1

线性度

F.S. 的 ±0.5 %^*1

F.S. 的 ±0.3 %^*1

采样周期

640 µs 至 356 ms (14 步进)^*2

640 µs 至 187 ms (14 步进)^*2

显示

最小显示单位

0.1 µm^*3，1 µm²，0.01 °

0.1 µm^*3

显示范围

±9，999.99 µm、±999，999 µm²、9，999.99 °

±9，999.99 µm

显微镜功能

有

―

有

―

显示周期

10 次/sec^*4

终端模块

模拟输出

±10 V x 2 输出，输出电阻: 100 Ω

计时输入

无电压输入

复位输入

自动调零输入

显示器专用电源为

24VDC^*5

控制器I／O

判定模式

3 步进限制输出

适用于 OUT1 (输出 1) , OUT2 (输出 2) 和 NPN 开路集电极输出^*6

二进位模式

二进制输出

测量数据输出 (21 位), 可选择 OUT1/OUT2/PROFILE (输出 1/输出 2/外形)

NPN 开路集电极输出^*6

选通脉冲输出

NPN 开路集电极输出^*6

二进制选择器输出

二进制选择输入

无电压输入^*6

稳定性输出

NPN 集电极开路输出

激光遥控输入

无电压输入

程序切换输入

无电压输入 x 3 输入

RS-232C 接口

测量数据输出和控制输入和输出 (最高可选择 115,200 位/秒 波德率)

视频输出

符合 NTSC 系统 (针式连接头)

显微镜功能

功能有无

兼容

N/A

兼容

N/A

视图栏

1.3 mm x 1.05 mm

―

2.5 mm x 2.0 mm

―

类型

有

无

有

无

照明光源

红外线 LED

―

红外线 LED

―

(波长: 870 nm)

(波长: 870 nm)

主要功能

位移模式

距离测量、通明物厚度测量、角度测量、相关角度测量、表面选择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描宽度/间隔改变^*7

距离测量、通明物厚度测量、表面选

择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描

宽度/间隔改变^*8

形状模式

面积选择 (平均数、最大、最小、最大至最小、

―^*8

面积) 面积计算、扫描宽度/间隔改变、反黑、

平滑、平均计算和形状数据输出^*8

一般功能

光强聚积、显微镜 (LT-9501H, LT-9501HSO (5654))、公差判断、8 程序登录、

校准、平均计算、保持模式、自动归零、和界面语言选择

温度特性 (20 至 30°C)

F.S. 的 ±0.5%

F.S. 的 ±0.25%

额定

电源电压

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

额定值

功率消耗

最大 110 VA

环境抗耐性

污染等级

2

过电压类别

II

环境光照

白炽灯/荧光灯：10,000 lux 以下

环境温度

0 至 +35 °C

相对湿度

35 至 85 % RH (无凝结)

重量

约 400 g

约 500 g

^*1 测量的目标物是在位移模式下被测量的镜面表面物体，扫描宽度/间隔 120 µm/2 µm，和平均 8 次时的值。

^*2 根据单个测量模式制造差异，取样周期也不同。当 FINE (精细) 模式设为 OFF (关闭) 时的值。

^*3 显示每 ±0.3 µm 的变化。

^*4 根据设定而不同。

^*5 监视器专用电源由 KEYENCE 指定。

^*6 限制模式和二进制模式选择其一。

^*7 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。

^*8 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余

电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。

型号

LT-C2^*1

LT-C10^*1

缆线长度

2 m

10 m

重量

约 200 g

约 700 g

^*1 能最多连接3 根缆线，总长为 20 m。