BEH系列干式真空泵

通过微机精密控制工作状态；
BEH干式真空泵系列产品在实现低速运转的同时仍能发挥极高性能，可用于CVD、PVD、 刻蚀、溅射等所有工程；
微机控制系统常时显示泵的电流值、冷却水的流量、 氮气流量、泵的背压.可以精密控制工作状态；
发生异常时，响起警报，并显示和记录时间和异常内容；
报警内容和时刻最多要记录199条；
遥控内装专用连接器，遥控运转和监视；
节约N2气体模式，工程中止时，可遥控切断稀释用N2气体；
LCD控制器运转操作和显示各种信息.

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